项目简介：

在国家电网项目的支持下，针对大型变电站局放检测需求，研制开发了基于超声波检测的MEMS光纤传感测量全套装置，攻克了圆片级硅基超薄敏感膜片的高精度加工、膜片与光纤端面的高精度可控装配超声信号高效耦合/传输/测量与处理、超声信号定位等关键技术，传感器灵敏度指标优于市场同类产品一个数量级以上，声压灵敏度达到733nm/kPa,工作频率范围 为20- 200kHz。相关传感器与测量装置可进行任意定制，该技术还有望应用于环境噪声、振动、压力等设备工作状况的监测。

技术/产品创新性：

在国家电网项目的支持下，针对大型变电站局放检测需求，研制开发了基于超声波检测的MEMS光纤传感测量全套装置，攻克了圆片级硅基超薄敏感膜片的高精度加工、膜片与光纤端面的高精度可控装配超声信号高效耦合/传输/测量与处理、超声信号定位等关键技术，传感器灵敏度指标优于市场同类产品一个数量级以上，声压灵敏度达到733nm/kPa,工作频率范围 为20- 200kHz。相关传感器与测量装置可进行任意定制，该技术还有望应用于环境噪声、振动、压力等设备工作状况的监测。

知识产权情况：

行业情况：

市场情况：

项目团队情况：