2021-08-23
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项目简介:
该陀螺仪为一款国产的MEMS (微机械系统) 型陀螺仪,采用∑-△双闭环控制工作原理,内部集成MEMS微机械敏感结构与ASIC(专用集成电路)芯片,与传统机械式陀螺比较,具有高集成、高性能等技术特点。该器件的机械敏感机构采用TSV真空封装工艺获得了高品质因数,采用数字式ASIC芯片技术实现角速率检测,采用CLCC封装实现,整机采用单5V供电。
技术/产品创新性:
该陀螺仪为一款国产的MEMS (微机械系统) 型陀螺仪,采用∑-△双闭环控制工作原理,内部集成MEMS微机械敏感结构与ASIC(专用集成电路)芯片,与传统机械式陀螺比较,具有高集成、高性能等技术特点。该器件的机械敏感机构采用TSV真空封装工艺获得了高品质因数,采用数字式ASIC芯片技术实现角速率检测,采用CLCC封装实现,整机采用单5V供电。
知识产权情况:
行业情况:
市场情况:
项目团队情况: