类金刚石硬质薄膜
周唯
-/新材料
类金刚石薄膜(diamond-likecarbon,DLC)是一种亚稳态的非晶碳薄膜,
具有一系列类似于金刚石的多种优异性能,如高硬度、低摩擦系数、高耐磨耐蚀
性、高热导率、在可见到紫外光范围内透明、良好的绝缘性和化学稳定性、优异
的生物兼容性及表面光滑等,可广泛用于机械、电子、光学、医学等领域。本项
目制备的类金刚石薄膜具有质量稳定,与基体结合强,硬度、弹性模量、摩擦系
数和透光性可调控,耐摩擦磨损和热稳定性好等综合优良性能。制备工艺方法具
有成膜速率高,可实现低温、大面积沉积。所制备的类金刚石薄膜,与金刚石相
比具有更高的性能价格比。本项目制备的类金刚石膜可用在许多领域,尤其是在机械制造和先进加工器
件方面。如汽车发动机凸轮、挺杆、陶瓷阀及其他耐磨损机械装置部件;精密模
具行业(注塑成型模具、冲压模具、半导体封装模具、吹塑成型模具等);高精
密机械(精密轴承、精密传动机构等);各种加工工具和切削刀具;医疗设备和
器具;磁介质保护膜、各种装饰镀膜和日常用品(手机和手表外壳、扬声器振膜、
高尔夫球具、剃须刀片等)