精密光学元器件加工制造技术

郑阳

-/先进制造与自动化

精密光学系统,如高能高功率激光器、拉曼光学、荧光显微等,对光学元器件提出了极高的要求。目前,这类先进光学系统上使用的关键光学薄膜器件仍然主要依赖进口。 大连化物所长期以来以光学工程、物理化学为学科基础,紧密围绕国家重大任务需求,着重开展高能激光用硬脆材料高面形超光滑表面加工、超低损耗高阈值激光薄膜制备、新型精密光学测试技术等方面的研究,所研制的强光光学元件已达到国际先进水平。并以强光光学元件技术为牵引,在非球面加工、复杂滤光片等其它精密光学元件研制方面形成了自己的独特技术优势。 技术优势一:平面、球面元件超光滑表面光学加工。材料:光学玻璃、石英、白宝石、硅和碳化硅等;口径:400mm内;面形精度:PV<45nm,RMS<10nm;镜面表面粗糙度:<0.5nm(RMS);表面质量:10-5。 技术优势二:非球面加工。材料:光学玻璃、石英、白宝石、硅和碳化硅等;加工口径:300mm口径范围内;面形精度PV≤63nm,RMS≤13nm;镜面表面粗糙度:<1nm(RMS);中频分量GRMS:100nm/cm;表面质量:20-10。 技术优势三:超低损耗激光反射镜和精密光学薄膜滤光片。研制的可见-近红外高阈值光学膜承载的峰值功率可达到GW量级,超反射膜的总损耗达到了20ppm以下,并成功制备了多款拉曼、荧光滤光片,性能达到了国际顶级滤光片生产商同类产品的水平。目前,团队具备从紫外到中远红外波长各种光学薄膜的制备与研发能力。

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