高精度 MEMS 陀螺仪

-/电子信息

该陀螺仪为一款国产的MEMS (微机械系统) 型陀螺仪，采用∑-△双闭环控制工作原理，内部集成MEMS微机械敏感结构与ASIC(专用集成电路)芯片，与传统机械式陀螺比较，具有高集成、高性能等技术特点。该器件的机械敏感机构采用TSV真空封装工艺获得了高品质因数，采用数字式ASIC芯片技术实现角速率检测,采用CLCC封装实现，整机采用单5V供电。

机床健康状态智能检测仪

-/电子信息

高端机床及其组件的健康状态高精度监测是提升汽车装备、数控加工、精密机械等高端制造领域技术创新和工业装备效能的关键核心技术。智能监测仪围绕粉尘、空气粒子以及极细碎屑等苛刻工况约束的机床组件制造工作过程中可靠性降低甚至失效等问题，实现了数控刀具等组件蠕变、磨损、微扭的高精密非接触式气态测量;突破了高端机床组件制造的高精度、零污染、智能在线监测、数字化实时响应等关键技术，实现了该产业技术领域对所需的已有仪器“零”局面。技术指标:测量通道≥4;重复精度≤2um;分辨率 <1um;线性度≤3μm;响应时间~0.5s;工作电压≤24V;工作电 流<25mA;具有高抗电磁干扰、抗浪涌能力;防护等级: IP53。

光纤MEMS声波检测系统

-/电子信息

在国家电网项目的支持下，针对大型变电站局放检测需求，研制开发了基于超声波检测的MEMS光纤传感测量全套装置，攻克了圆片级硅基超薄敏感膜片的高精度加工、膜片与光纤端面的高精度可控装配超声信号高效耦合/传输/测量与处理、超声信号定位等关键技术，传感器灵敏度指标优于市场同类产品一个数量级以上，声压灵敏度达到733nm/kPa,工作频率范围 为20- 200kHz。相关传感器与测量装置可进行任意定制，该技术还有望应用于环境噪声、振动、压力等设备工作状况的监测。

面向极/甚低频通信的可调微纳天线

-/电子信息

极/甚低频电磁波通信是水下航行器在大深度、远距离条件下实现不间断通信的重要技术手段之一。针对目前极/甚低频电磁波通信存在的天线尺寸大、重量大、隐蔽性差等缺点。我们设计并制备了基于磁电耦合效应与体声波协同作用的新型可调谐微纳天线，其尺寸仅为目前天线尺寸的十万分之一。大幅度缩小了极/甚低频电磁波通信系统的尺寸和质量， 增强了隐蔽性。特别是在自主式水下航行器(AUV) 上， 减小了负荷，提升了续航能力。可调谐微纳天线基于MEMS工艺，可实现不同频率微纳天线的集成化制造。并且可通过内置的偏置磁场对天线的接收频率进行调谐以匹配外界电磁场。

蓝宝石基耐高温光纤动态压力传感器系统

-/航空航天

针对航空航天发动机、高温油井、化学反应釜、汽车引擎等高温压力测量需求，突破蓝宝石深刻蚀、高温直接键合、减薄抛光等关键工艺技术，完成耐高温高可靠性封装，研制出克耐受1200°C、测压范围0-3MPa、分辨力1kPa、测量误差＜±5%的蓝宝石基高温光纤动态压力传感器。为相关设备在线健康监测、故障诊断及设计优化提供重要技术手段。

柔性电子封装用高分子薄膜

-/新材料

团队自主研发并产业化吸氧型超高阻隔膜，主要应用于柔性电子基底/封装膜。主动吸氧技术独有专利，单层吸氧型超高阻隔膜产品达到氧气透过率10-5cm3/m2/day以下，满足电子器件痕量透氧率要求。

吸氧型超高阻隔膜开发及推广

-/新材料

自主创新性薄膜开发吸氧型超高阻隔，填补国内空白。

兼具主动吸氧和被动阻氧功能，单层薄膜氧气透过率小于10-5cm3/m2/day。

薄膜具有超强抗穿刺和抗撕裂性能。

申请发明专利两件。

柔性印刷电子浆料开发及产业化

-/电子信息

开展电子浆料国产替代工作，主要应用于印刷电子浆料和导电胶等领域。

作为强基工程子项目的“片式电阻器用面电极浆料”，推出市场后，累计实现近亿元产值，获得省科技进步三等奖。

新型OLED发光材料开发——新型TADF发光材料

-/新材料

团队早在2006年已开发出但是全球最高效率的深蓝色TADF材料，在2009年申请了一系列的材料与器件专利。基于前期工作的积累以及专利布局，将继续进行新颖TADF材料的研究工作，开发涵盖红光、绿光以及蓝光的系列高效稳定TADF材料。