本发明涉及气敏材料领域,尤其涉及一种Pd纳米颗粒表面修饰ZnO纳米线气敏材料的制备方法。该方法主要包括以下步骤:用电阻式热蒸发的方法在SiO2/Si衬底上沉积一层Au膜;用化学气相沉积的方法在所述Au膜上生长ZnO纳米线,得到ZnO纳米线阵列;用物理气相沉积的方法在所述ZnO纳米线的表面包覆一层Pd膜,得到包覆有Pd膜的ZnO纳米线阵列样品;将包覆有Pd膜的所述ZnO纳米线阵列样品放置在高温管式炉中进行高温退火,得到Pd纳米颗粒表面修饰ZnO纳米线气敏材料。与传统的化学方法相比,该方法制备得到的样品Pd纳米颗粒粒径均一、数量多且制备可控。